Epitassia  [ Torna indietro  Produzione di semiconduttori  ]

Un processo di deposizione di sottili strati di silicio cristallino dopo la fase di vaporizzazione ad alta temperatura su un substrato. Per questo si mischia il triclorosilano, il tetraclorosilano e dell'idrogeno con del diboran o con del phosphin, in quanto gas droganti.

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