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Nonostante i diversi accorgimenti impegnativi per creare e di conseguenza conservare un'atmosfera priva d'impurità, è indispensabile pulire il wafer regolarmente. Dato che questa è una tappa di processo molto frequente ed importante, si fa con un tool particolare, il SRD (Spin, Rinse, Dryer). Questo SRD pulisce il wafer con dell'acqua demineralizzata e lo asciuga con dell'azoto ultra puro.