Epitaxie  [ Retour vers  Production de semi-conducteurs  ]

Un processus de déposition sur un substrat d’une fine couche de silicium monocristallin depuis la phase vapeur à haute température. Pour cela, on combine trichlorsilane, tétrachlorsilane et de l’hydrogène soit à du diborane soit à de la phosphine en tant que gaz de dopage.