Tournage – Rinçage – Séchage  [ Retour vers  Production de semi-conducteurs  ]

Malgré les nombreuses mesures sophistiquées prises pour engendrer et maintenir en vigueur une atmosphère de salle blanche exempte de toute impureté, il est indispensable de nettoyer régulièrement les plaquettes de silicium. Il s’agit là d'une étape de processus très fréquente et très importante pour laquelle l’on utilise un outil spécial, le SRD (Spin, Rinse, Dryer). Le SRD nettoie les plaquettes de silicium avec de l’eau déminéralisée et les sèche ensuite avec de l’azote ultra pur.

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