Expostition  [ Retour vers  Production de semi-conducteurs  ]

La plaquette de silicium enduite de laque photosensible est exposée à des rayons ultraviolets dans un stepper. Les rayons UV atteignent la surface en franchissant un masque qui reflète la structure ultérieure du composant électronique, si bien que seules des zones sélectionnées de la laque photosensible sont exposées.Comme source lumineuse, on utilise des lasers dans lesquels, outre d’autres médias, on fait également appel à de l’azote ultra pur, à de l’air comprimé extrêmement pur et à différents mélanges de gaz à laser comme le fluor-krypton-néon et le krypton-néon.