Epitaxie  [ zurück  Halbleiterproduktion  ]

Ein Prozess zum Aufwachsen einer einkristallinen Siliziumschicht aus der Dampfphase bei hohen Temperaturen auf ein Substrat. Hierzu werden Trichlorsilan, Tetrachlorsilan und Wasserstoff entweder mit Diboran oder Phosphin als Dotiergase gemischt.

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